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TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。
TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。
栅尺选项:
-直线栅尺用于提供直线位置信息,通常是X轴、Y轴或Z轴。
-圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。