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RLE系统是独创的先进零差激光干涉测量系统,特别为位置反馈应用而设计。每套RLE系统均包含一个RLU激光装置和一个或两个RLD10发射头,具体型号取决于特定应用的要求。

RLU激光装置有单轴或双轴两种配置可选,包括HeNe(氦/氖)激光源、用于稳频的电子器件、光纤传导装置和轴位置反馈电子器件。

RLU10激光装置
RLU10在任意一个小时内的激光稳频精度为±50 ppb,其性能水平适合大部分非真空环境应用。

 

特性与优点
将RLU10与适合所需应用的雷尼绍发射头 (RLD) 结合使用具有以下特性与优点:
-简单的系统结构: 利用雷尼绍独创的光纤传导系统
-快速调节准直: RLD发射头允许激光光束直接射向测量轴
-结构紧凑且设定轻松: 系统占用空间极少,安装时间极短

 

RLU20激光装置
RLU20在任意一个小时内的激光稳频精度为±2 ppb,能够为大部分真空环境应用提供极高测量性能。

 

特性与优点
将RLU20与适合所需应用的雷尼绍发射头 (RLD) 结合使用具有以下特性与优点:
-简单的系统结构: 利用雷尼绍独创的光纤传导系统
-快速调节准直: RLD发射头允许激光光束直接射向测量轴
-结构紧凑且设定轻松: 系统占用空间和安装时间均较少

 

RLD10平面镜干涉仪
RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。

 

特性与优点
-双轴解决方案: 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。
-高分辨率: 与角锥反射镜系统相比,平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。
-敏感环境: 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值(即 < 2 W)的应用。

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