直线度简介： 直线度镜组由直线度反射镜和直线度干涉仪组成，并有短直度镜组和长直度镜组之分。短直度镜组测量范围：0.1Ｍ~4Ｍ，长直度镜组测量范围：1Ｍ~30Ｍ。直线度架设图如下：

一、架设：
1.先确认激光的架设位置，再通过三脚架来调整激光的高度，然后通过水平仪来调整激光头的架设水平。

2.架设干涉仪与反射镜（如图）

（1）把干涉仪架到机床合适的位置
　　
（2）通过治具把反射镜的高度架到与干涉仪高度一致
　　
（3）通过水平仪来调整干涉仪的水平
　　
（4）通过水平仪来调整反射镜的水平
　　
短直度镜组距离：干涉仪与反射镜之间的至少距离为150mm以上
长直度镜组距离：干涉仪与反射镜之间的至少距离为1500mm以上
二、对光
1.使激光头与干涉仪之间的激光光束进行准直，使之与运动轴平行，对光方法与线性对光方法一致。镭射头射出的激光光束于干涉仪的白点正中央之位置，需近端及远程都要在正中央成一直线。
2.激光头与干涉仪之间的激光光束准直后把干涉仪上的分光镜旋转90°，使得激光光束经过干涉仪分光镜分出两束光射到反射镜组上（如图）
　
3.校准反射镜上的光束
校准反射镜上的光束时，左右光束以中心的那根线为基准，对分等距离，上下光束以镜片中心之上距离大约是6mm左右(如图所示)
　　
　　
从反射镜返回的光束与入射光束左右方向也需一致（如图所示）
　　
入射与反射光束左右方向一致后，查看返回到激光头探测口上的光束，并查看光束强度是否符合测试要求。
　　
如果光束强度较弱时，调整干涉仪上的分光镜旋钮，使得光束上下方向调整在探测口内。
　　
当光束强度符合测试要求时，可以进行直线度的测量
　　
在进行测试之前要通过调整公式进行对该直线度去除斜率误差
斜率误差调整步骤：
斜率调整公式：(A+B)／A＝C ，C×D＝ΔC (如下图)
A：量测总行程之距离
B：分光镜在最远程时与反射镜之间的距离
C：反射镜未调整前的雷射读值
D：分光镜在起点归零后移动分光镜到终点看软件上所显现之 读值的误差值
ΔC：所需调整的雷射读值
将所算出的ΔC之值用反射镜微调钮微调到此读值，再将分光镜移到起点归零后，再移到终点看软件上之读值是否在容许范围内（短距离直度量测误差值需在20μm以内，长距离直度量测误差值需在50μm 以内），如果没有在容许范围内时，再将此读值(D)乘以之前所算出的C值再用微调钮调整,重复此动作调整至容许范围内,即可开始做量测

三，软件的使用
在对光OK后，直线度斜率消除后进行软件的操作
以手指轻轻压分光镜(测水平方下请压左右水平向，如果是测垂直方向请压上下垂直向)，在压分光镜同时请看计算机屏幕上之数字变化，来判别正负方向。如右图所示：





分析数据采用两端点法进行分析直线度的误差，查看分析图右下角的直线度误差（如图）

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